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台积电BEOL内存杀到！0.017平方微米单元面积硬刚3D DRAM
台积电 BEOL 内嵌内存技术详解，0.017μm² 单元面积对标 3D DRAM
台积电 BEOL 后段内嵌内存已经进入实验研发阶段，单元面积做到 0 017 平方微米，它是直接在芯片金属互连层（BEOL 后段）制作的高密度
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