台积电怕被中国大陆断供！寻找无稀土芯片设备：事关光刻机_大广网

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台积电推进无稀土芯片设备研发，保障光刻机产线稳定运行

台积电正在全面对接设备供应商，大范围调研不含稀土永磁组件的芯片制造设备，核心目标是降低产线对稀土材料的供应链依赖，保障包含 EUV 浏览全文>>

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